539.23(076.5) | Т572 2 | Тонкоплівкові технології [Текст] : метод. вказівки до лаборатор. практикуму для студ. баз. напряму 6.0908 "Електроніка" / Нац. ун-т "Львів. політехніка"; уклад.: Д. М. Заячук, О. І. Логуш. — Л. : Вид-во Нац. ун-ту "Львів. політехніка", 2008. — 32 с. |
| | |
|