621.382.8 Б95 2 Быстров, Юрий     Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве [Текст] / Юрий Быстров, Евгений Колгин, Борис Котлецов. — М. : Радио и связь, 1988. — 168 с. ISBN 5-256-00006-3

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	5	Перейти на сайт