621.382.8 К43 2 Киреев, Валерий     Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур [Текст] / Валерий Киреев, Борис Данилин, Владимир Кузнецов. — М. : Радио и связь, 1983. — 126 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	6	Перейти на сайт