621.382.002(075.8) | К934 2 | Курносов, Анатолий Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] : учеб. пособие для студентов вузов / Анатолий Курносов, Владимир Юдин. — 2-е изд., перераб. и доп. — М. : Высш. шк., 1979. — 367 с. |
| | |
|