621.382.002(075.3)
К934 2	Курносов, Анатолий     Технология и оборудование производства полупроводниковых приборов [Текст] : учеб. для техникумов электрон. пром-сти / Анатолий Курносов, Владимир Юдин. — Изд. 2-е, доп. и перераб. — Л. : Судостроение, 1971. — 263 с.