621.382.002 О-224 2 Масленников, Павел     Оборудование полупроводникового производства [Текст] / под ред. П. Н. Масленникова. — М. : Радио и связь, 1981. — 336 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	4	Перейти на сайт