Зведений каталог бібліотек Львова
621.382.002О-222Симонов, Владимир Оборудование ионной имплантации [Текст] / Владимир Симонов, Лев Корнилов, Алексей Шашелев, Евгений Шокин. — М. : Радио и связь, 1988. — 183 с. ISBN 5-256-00007-1
- Теми документа