621.382.8 Б146 2 Багрий, Игорь     Моделирование процессов плазмохимического травления в технологии производства ИС [Текст] / Игорь Багрий, Георгий Чечко. — Киев : ИК, 1989. — 20 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт