621.382.8 П528 2 Полтавцев, Юрий     Технология обработки поверхностей в микроэлектронике [Текст] / Юрий Полтавцев, Александр Князев. — Киев : Тэхника, 1990. — 205, [1] с. ISBN 5-335-00572-6

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	5	Перейти на сайт