|
| 621.382.8(075.3) | П167
2 | Панфилов, Юрий
Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы [Текст] : учеб. для сред. спец. учеб. заведений по специальности 0658 "Пр-во микроэлектрон. устройств" / Юрий Панфилов, Владимир Рябов, Юрий Цветков. — М. : Радио и связь, 1988. — 320 с. | |
| | ISBN 5-256-00062-4 | |
|
