621.382.002(075.8) | П364 2 | Пичугин, Игорь Технология полупроводниковых приборов [Текст] : учеб. пособие для вузов по специальности "Полупроводники и диэлектрики" и "Полупроводниковые и микроэлектрон. приборы" / Игорь Пичугин, Юрий Таиров. — М. : Высш. шк., 1984. — 288 с. |
| | |
|