621.52(076.5)
В148 3	Вакуумний мас-спектрометричний течешукач [Текст] : метод. вказівки до викон. лаборатор. роботи № 6 з курсу "Вакуум. техніка та вакуум. технологія" для студ. баз. напряму "Інж. механіка" спец. 6.090212 "Обладн. електр. пром-сті" / М-во освіти і науки України, Нац. ун-т "Львів. політехніка" ; [уклад. Р. М. Шеремета]. — Л. : Вид-во Нац. ун-ту "Львів. політехніка", 2005. — 20 с.