621.382.001.4(075.8) | М777 2 | Бухман, Анатолий Монтаж и наладка испытательного оборудования полупроводникового производства [Текст] : учеб. пособие для проф.-техн. учеб. заведений / Анатолий Бухман, Анатолий Шокальский, Сергей Сальников, Генрих Корневич. — М. : Высш. шк., 1973. — 334 с. |
| | |
|