621.382.002.5(075.8) М809 2 Моряков, Олег     Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства [Текст] : учеб. пособие для проф.-техн. учеб. заведений / Олег Моряков. — М. : Высш. шк., 1971. — 240 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	3	Перейти на сайт