621.382.8 Ч-563 2 Чехович, Евгений     Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники [Текст] / АН БССР, Ин-т электроники. — Минск : Наука и техника, 1989. — 214 с. ISBN 5-343-00087-8

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	3	Перейти на сайт