621.382.8(075.8) | Щ94 2 | Щука, Александр Технология статических неоднородностей. Методы формирования p-n переходов и поверхностных конфигураций ИС [Текст] : [учеб. пособие] / Моск. ин-т радиотехники, электроники и автоматики. — М. : Изд-во МИРЭА, 1989. — 79 с. |
| | |
|