539.23 Д182 2 Данилин, Борис     Вакуумная техника в производстве интегральных схем [Текст] / под общ. ред. Р. А. Нилендера. — М. : Энергия, 1972. — 256 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	3	Перейти на сайт