621.382.8(075.8)
А22 2	Сазонов, А. А.     Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники [Текст] : учеб. пособие для вузов по приборостроит. специальностей вузов / А. А. Сазонов, Р. В. Корнилов, Н. П. Кохан и др.; Под ред А. А. Сазонова. — М. : Высш. шк., 1991. — 333, [1] с.
ISBN 5-06-000731-6