548.5(076.5)
Т384 2	Технологія одержання ниткоподібних кристалів як чутливих елементів сенсорів різних фізичних величин [Текст] : метод. вказівки до лаб. роботи № 3 з курсу "Мікроелектрон. сенсори на нових фіз. принципах та мікропроцесор. системи керування" для студентів баз. напряму 6.09080 "Електроніка" / Нац. ун-т "Львів. політехніка" ; [уклад. І. П. Островський]. — Львів : Вид-во Нац. ун-ту "Львів. політехніка", 2002. — 12 с.