539.293 Т124 1 Буренков, А. Ф.     Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей [Текст] / А.Ф. Буренков, Ф.Ф. Комаров, М.А. Кумахов, М.М. Темкин. — Минск : Изд-во БГУ, 1980. — 352 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт