621.382.002(075.3)
Т384 2	Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Текст]. Механическая и химическая обработка : учеб. пособие для ПТУ : в 10 кн. / С. Н. Никифорова-Денисова [и др.]. — М. : Высш. шк., 1989. — 95 с.
ISBN 5-06-000306-Х