621.382.002(075.3) | Т384 2 | Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Текст]. Термические процессы : учеб. пособие для ПТУ : в 10 кн. / С. Н. Никифорова-Денисова, Е. Н. Любушкин [и др.]. — М. : Высш. шк., 1989. — 96 с. |
| ISBN 5-06-000307-8 | |
|