621.382.8.002(075.8)
М207 2	Малышева, Идея     Технология производства интегральных микросхем [Текст] : учеб. для сред спец. учеб. заведений по специальности 2002 "Пр-во изделий электрон. техники" / Идея Малышева. — 2-е изд., перераб. и доп. — М. : Радио и связь, 1991. — 343, [1] с.
ISBN 5-256-00861-7