681.52 | | Перспективні технології і методи проектування МЕМС [Текст] : матеріали Четвертої міжнар. конф. молодих вчен. MEMSTECH' 2008, 21-24 трав. 2008, Львів, Поляна, Україна. / Нац. ун-т "Львів. політехніка". — Л. : Вежа і Ко, 2008. — 144 c. |
| ISBN 978-966-2191-00-4 | |
|