621.382(075,8) | Е91 | Ефимов, И. Е. Микроелектроника. Физические и технологические основы, надежность [Текст] : учеб. пос. для приборостроит. спец. вузов / И.Е. Ефимов, Ю.И. Горбунов, И.Я. Козырь. — 2-е изд., переработ. и доп. — Москва : Высшая школа, 1986. — 464 с. |
| | |
|