621.382 | Ч49 | Черняев, В. Н. Технология производства интегральных микросхем [Текст] : учеб. пособ. для студ-ов вузов, обуч. по спец. "Конструирование и производство электронно-вычислительной аппаратуры" / под ред. А.А. Васенкова. — М, : Энергия, 1977. — 376 с. |
| | |
|