621.38.032(075.8)
К93	Курносов, А. И.     Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] : учеб. пособ. для студ. вузов по спец. "Полупроводники и диэлектрики", "Полупроводниковые приборы" / А.И. Курносов, В.В. Юдин. — 2-е изд., перераб. и доп. — М. : Высшая школа, 1979. — 367 с.