621.38(075.8)
М59	Микроэлектроника [Текст]. Физические основы функционирования изделий микроэлектроники : учеб. пособ. для втузов ; в 9-и кн. / О.В. Митрофанов, Б.М. Симонов, Л.А. Коледов ; под ред. Л.А. Коледова. — М. : Высшая школа, 1987. — 168 с.