621.38(075.8)
М59	Микроэлектроника [Текст]. Экономика и организация разработок, освоения и производства изделий микроэлектроники : учеб. пособ. для втузов ; в 9-и кн. / под ред. Л.А. Коледова. — М. : Высшая школа, 1987. — 158 с.