Одержання тонких плівок
Підтеми:
Документи:
- Адгезионная способность пленок [Текст] / Александр Углов, Лев Анищенко, Сергей Кузнецов. — М. : Радио и связь, 1987. — 103 с.
- Вакуумна металізація в мікроелектроніці [Текст] / В.М. Недоступ. — Київ : Знання, 1973. — 48 с.
- Вакуумная техника в производстве интегральных схем [Текст] / под общ. ред. Р. А. Нилендера. — М. : Энергия, 1972. — 256 с.
- Вакуумное нанесение тонких пленок [Текст] / под общ. ред. Р. А. Нилендера. — М. : Энергия, 1967. — 312 с.
- Введение в физическую химию и кристаллохимию полупроводников [Текст] : учеб. пособие для студентов втузов / Борис Ормонт. — М. : Высш. шк., 1968. — 487 с.
- Вхождение примесных центров в кристаллический слой полупроводника [Текст] : процессы образования монокристаллических слоев для микроэлектроники / АН СССР, Ин-т кристаллографии ; отв. ред. И. А. Смирнова. — Л. : Наука, 1986. — 178 с.
- Гидродинамическое течение тонких пленок полимерных полупроводников под действием поверхностных сил [Текст] / Михаил Заболотный, Анатолий Загородний, Николай Кувшинский, И.П. Якименко. — Киев : [б. и.], 1990. — 24 с.
- Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике [Текст] / АН БССР, Физ.-технол. ин-т ; под ред. В. Е. Борисенко. — Минск : Навука і тэхніка, 1990. — 191 с.
- Доработка ионно-плазменной установки УРМЗ. 279. 014 системами контроля парциального давления газов в разрядной камере и толщины получаемых диэлектрических пленок [Текст] / АН УССР, Ин-т радиофизики и электроники. — Харьков : ИРЭ, 1980. — 16 с.
- Электролитически осажденные магнитные пленки [Текст] / АН БССР, Ин-т физики тверд. тела и полупроводн. — 2-е изд., перераб. и доп.. — Минск : Наука и техника, 1979. — 280 с.
- Электролитически осажденные магнитные пленки [Текст] / Ин-т физики твердого тела и полупроводников АН БССР. — Минск : Наука и техника, 1972. — 264 с.
- Электроннолучевое и ионное оборудование [Текст] / Моск. ин-т электрон. техники. — М. : [б. и.], 1973. — 76 с.
- Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе [Текст] / под ред. А. Ю. Малинина. — М. : Энергия, 1979. — 89 с.
- Эпитаксиальные пленки [Текст] / Лев Палатник, Игорь Папиров. — М. : Наука, 1971. — 480 с.
- Жидкостня эпитаксия компенсированных слоев арсенида галлия и твердых растворов на его основе [Текст] / отв. ред. В. М. Тучкевич ; АН УзбССР физ.-техн. ин-т им. С. В. Стародубцева. — Ташкент : Фан, 1986. — 128 с.
- Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники [Текст] / [с предисл. Е. П. Велихова]. — М. : Наука, 1988. — 176 с.
- Исследование возникновения текстуры в пленках ZnO в процессе роста [Текст] / Альберт Сергеев, Анатолий Тарасов, Анатолий Пузак. — Харьков : Изд-во ИРЭ АН УССР, 1981. — 29 с.
- Катодное распыление [Текст] / Николай Плешивцев. — М. : Атомиздат, 1968. — 347 с.
- Катодный метод создания пленочных элементов микросхем [Текст] / Роберт Иванов. — М. : Энергия, 1972. — 112 с.
- Кинетика кристаллизации и перекристаллизации полупроводниковых пленок [Текст] : монография / АН СССР, Ин-т физики полупроводников. — Новосибирск : Наука, 1985. — 224 с.
- Кинетические эффекты "сильной" локализации в планарных гетероструктурах p-Ge/ I-Ga As [Текст] / Олег Миронов, Сергей Чистяков. — Харьков : ИРЭ АН УССР, 1987. — 42 с.
- Кинетические явления в поликристаллических пленках халькогенидов свинца и висмута [Текст] : [монография] / Ферган. гос. пед. ин-т ; отв. ред. М. С. Саидов. — Ташкент : Фан, 1985. — 104 с.
- Кристаллические и аморфные пленки новых сложных полупроводников [Текст] / Ужгор. гос. ун-т. — Ужгород : Изд-во УжГУ, 1986. — 110 с.
- Лазерные методы получения полупроводниковых структур и их исследование [Текст] / АН МССР, Ин-т приклад. физики ; [редкол.: С. Л. Пышкин (отв. ред.) и др.]. — Киев : Штиинца, 1988. — 100 с.
- Магнетронные распылительные системы [Текст] / Борис Данилин, Владимир Сырчин. — М. : Радио и связь, 1982. — 73 с.
- Матеріалознавство тонкоплівкових наноструктур: дифузія і реакції [Текст] / Сергій Сидоренко, Юрій Макогон, Світлана Волошко. — К. : Наук. думка, 2000. — 571 с.
- Методы получения, свойства и применение тонких пленок халькогенидов цинка [ZnS, ZnSe, ZnFe] [Текст] : обзор / Ком. стандартов, мер и измер. приборов при Совете Министров СССР; Всесоюз. науч.-исслед. ин-т информации, классификации и кодирования. — М. : [б. и.], 1970. — 19 с.
- Механизм геттерной эпитаксии тонких полупроводниковых пленок [Текст] / В.Г. Литовченко, Б.Н. Романюк, И.В. Рудской, Н.Н. Сирота. — Киев : ИФ, 1988. — 35, [1] с.
- Микроструктурирование тонких плёнок [Текст] / отв. ред. А. А. Орликовский. — М. : Наука, 1991. — 112 с.
- Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло [Текст] : [сб. ст.] / отв. ред. С. И. Стенин ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников. — Новосибирск : Наука, 1991. — 165, [2] с.
- Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры [Текст] : пер. с англ. / под ред. Л. Ченга, К. Плога. — М. : Мир, 1989. — 584 с.
- Одержання плівок електропровідних полімерів методом розпилення в схрещених електричному та магнітному полях [Текст] : метод. вказівки до викон. лаборатор. роботи з дисципліни "Вакуум. техніка" для студ. баз. напряму 6.050802 "Електрон. пристрої та системи" / Нац. ун-т "Львів. політехніка" ; [уклад.: П. Й. Стахіра, І. П. Кремер]. — Л. : Вид-во Нац. ун-ту "Львів. політехніка", 2008. — 8 с.
- Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков [Текст] / Кирилл Осипов, Гундар Фолманис. — Москва : Наука, 1973. — 88 с.
- Основы анализа поверхности и тонких пленок [Текст] / пер. с англ. В. А. Аркадьева ; под ред. В. В. Белошицкого. — М. : Мир, 1989. — 344 с.
- Пленки из элементоорганических соединений в радиоэлектронике [Текст] / Виктор Корзо, Владимир Курочкин, Виктор Демин. — М. : Энергия, 1973. — 192 с.
- Пленки карбида кремния [Текст] / Светлана Власкина, Георгий Свечников, Валентин Смынтына. — Одесса : Астропринт, 2007. — 104 с.
- Поверхность кристалла и эпитаксия [Текст] / отв. ред. А. З. Эфендиев ; Сев.-Кавк. науч. центр высш. шк. — Ростов н/Д : Изд-во Рост. ун-та, 1987. — 198, [1] с.
- Полупроводниковые пленки для микроэлектроники [Текст] / Академия Наук СССР. Сибирск. отделение. Ин-т физики полупроводников. — Новосибирск : Наука, 1977. — 248 с.
- Полупроводниковые пленки для микроэлектроники [Текст] : монография / АН СССР, Ин-т физики полупроводников ; отв. ред. Л. Н. Александров, В. И. Петросян. — Новосибирск : Наука, 1977. — 248 с.
- Полупроводниковые пленки и миниатюрные измерительные преобразователи [Текст] : [учеб.пособие] / Эдуард Болванович. — Минск : Наука и техника, 1981. — 214 с.
- Получение и свойства тонких пленок [Текст] : [сб. науч. тр. семинара 1980 г.] / АН СССР, Ин-т проблем материаловедения ; [редкол.: А. Ф. Андреева (отв. ред.) и др.]. — Киев : Наук. думка, 1982. — 132 с.
- Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме [Текст] / под ред. В. А. Белого ; АН БССР, Ин-т механики металлополимер. систем. — Минск : Наука и техника, 1989. — 191 с.
- Проблемы эпитаксии полупроводниковых пленок [Текст] : коллектив. монография / АН СССР, Ин-т физики полупроводников ; отв. ред. Л. Н. Александров. — Новосибирск : Наука, 1972. — 237 с.
- Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок [Текст] : [докл. симпозиума 6-8 июня 1978 г.] : сб. науч. тр. / АН СССР, Ин-т неорган. химии ; отв. ред. Ф. А. Кузнецов. — Новосибирск : Наука, 1981. — 277 с.
- Прцессы синтеза и роста кристаллов и пленок полупроводниковых материалов [Текст] : Симпозиум. Новосибирск, 11-16 октября 1965 г. / АН СССР, ин-т неорганической хим.; [редкол.: К. Е. Миронов (отв.ред.) и др.]. — Новосибирск : Наука, 1971. — 312 с.
- Радиотехника, тонкие магнитные пленки, вычислительная техника [Текст] / АН СССР, Ин-т физики ; отв. за вып. В, В, Кравченко. — Красноярск : [б. и.], 1973. — 307 c.
- Радиотехника, тонкие магнитные пленки, вычислительная техника [Текст] / АН СССР, Ин-т физики ; [отв. за вып. В. Щербаков]. — Красноярск : [б. и.], 1973. — 255 c.
- Репродукционная эпитаксия [Текст] / Вадим Маслов. — М. : Металлургия, 1981. — 188 с.
- Рідкофазна епітаксія в системі Pb-Sn-Te-Se [Текст] : (аналіт. огляд) / МОН України, Кіровоград. держ. пед. ун-т ім. В. Винниченка. — Кіровоград : КОД, 2010. — 66 с.
- Свойства нитевидных кристаллов и тонких пленок [Текст] : межвуз. сб. науч. тр. / Воронеж. политехн. ин-т ; [редкол.: В. М. Иевлев (науч. ред.) и др.]. — Воронеж : ВорПИ, 1986. — 125 с.
1
2
|
