6+001.895
	Руденко, Е. М.     Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики [Текст] / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. Шамрай // Наука та інновації [Текст] : Науково-практичний журн. — С.36-38.