001.895
	Сторижко, В. Е.     Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития [Текст] / В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, А.Г. Пономарев // Наука та інновації [Текст] : Науково-практичний журн. — С. 17-22.