Зведений каталог бібліотек Рівного
539Д18Данилин, Б. С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок [Текст] / Б.С. Данилин. — М. : Энергоатомиздат, 1989. — 328с. ISBN 5-283-03939-0
- Ключові слова:
- Теми документа