|
-
Ключові слова:
квантова механіка, квантовая механика ; низькотемпературна плазма, низкотемпературная плазма ; напівпровідникові прилади, полупроводниковые приборы ; технологія напівпровідників, технология полупроводников ; іонна модифікація, ионная модификация ; квантові процеси, квантовые процессы ; фізика плазми, физика плазмы ; трансфер технологічних інновацій ; технологічній фактор розвитку техногена ; промислове обладнання
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
ББК // Квантова радіотехніка
-
ББК науковий // Парові турбіни. Паротурбінні установки
|
