Зведений каталог бібліотек Тернополя

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Руденко, Е. М.
    Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики [Текст] / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. Шамрай // Наука та інновації. — К., 2010. — № 3. — С. 36-38.

- Ключові слова:

мікроелектроніка, микроелектроника ; фізика плазми, физика плазмы ; інноваційна діяльність ; інновації, innovations ; інноваційні процеси ; інновації в науці

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • ББК // Мікрорадіоелектронна апаратура. Мікроелектроніка



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Бібліотека Тернопільського національного економічного університету   Перейти на сайт