Зведений каталог бібліотек Тернополя
541О-67Ормонт, Б. Ф. Создание управляющих микроприборов физико-химическими методами [Текст] : прецизионные физико-химические процессы в производстве микроэлектронной аппаратуры / Б.Ф. Ормонт, В.И. Смирнов. — М. : Знание, 1977. — 64 с.
- Ключові слова:
- Теми документа