Зведений каталог бібліотек Тернополя
30.11А46Александров, В. К. Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов [Текст] / В.К. Александров, Ю.Н. Биенко, В.Н. Ильин. — Минск : Наука и техника, 1988. — 240 с. ISBN 5-343-00264-1
- Анотація:
Обобщен и систематизирован опыт разработки и создания оптико-электронных методов и средств контроля и анализа линейных размеров технологических микрообъектов.
- Теми документа