621.382 П52 Полтавцев, Ю. Г.     Технология обработки поверхностей в микроэлектронике [Текст] / Ю.Г. Полтавцев, А.С. Князев. — К. : Тэхника, 1990. — 206 с. ISBN 5-335-00572-6

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Тернопільського національного технічного університету ім. І.Пулюя	3	Перейти на сайт