Зведений каталог бібліотек Тернополя
621.382П52Полтавцев, Ю. Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике [Текст] / Ю.Г. Полтавцев, А.С. Князев. — К. : Тэхника, 1990. — 206 с. ISBN 5-335-00572-6
- Теми документа