533.9 Д18 Данилин, Б. С.     Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок [Текст] / Б.С. Данилин. — М. : Энергоатомиздат, 1989. — 328 с. ISBN 5-283-03939-0

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Тернопільського національного технічного університету ім. І.Пулюя	1	Перейти на сайт