538.22 И75     Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы [Текст] : Сборник статей / Под ред. Вавилова В.С. — М. : Мир, 1980. — 331 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Тернопільського національного технічного університету ім. І.Пулюя		Перейти на сайт