621.315.5
П12	Павлов, Л. П.     Методы измерения параметров полупроводниковых материалов [Текст] : Учеб. для вузов по спец. "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы" / Л.П. Павлов. — 2-е изд., перераб. и доп. — М. : Высшая школа, 1987. — 239 с.