538.22 И75     Ионная имплантация [Текст] / Под ред. Дж.К.Хирвоненка, Елютина О.П. — М. : Металлургия, 1985. — 392 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Тернопільського національного технічного університету ім. І.Пулюя	1	Перейти на сайт