538.22 О-22     Оборудование ионной имплантации [Текст] / Симонов В.В.,Корнилов Л.А.,Шашелев А.В.,Шокин Е.В. — М. : Радио и связь, 1988. — 184 с. ISBN 5-256-00007-1

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Тернопільського національного технічного університету ім. І.Пулюя	1	Перейти на сайт