621.378 В26 Вейко, В. П.     Опыт внедрения лазерной обработки тонких пленок в микроэлектронике [Текст] / В.П. Вейко. — Ленинград : ЛДНТП, 1977. — 32 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Тернопільського національного технічного університету ім. І.Пулюя	1	Перейти на сайт