В пособии рассмотрены технологические процессы изготовления изделий микроэлектроники, их диагностика, расчеты параметров типовых электрических схем и элементов электронной техники, представлены основные технико-экономические показатели участка, цеха при производстве изделий микроэлектоники.
Для студентов средних профессиональных учебных заведений.
