| | Іващенко, В. Характеристика плазмохімічних тонких плівок карбонітриду кремнію, осаджених із гексаметилдісилану [Текст] / В. Іващенко, О. Порада, Л. Іващенко // Порошковая металлургия. №1 - К. : Институт проблем материаловедения им. . Францевича НАН Украины , 2009. — с. 86-94. |
| | |
|