Васин, В.     Повышение равномерности нанесения тонких пленок в вакууме [Текст] / В. Васин, С. Степанчиков // Технология машиностроения : Научно-технический и производственный журнал. — Москва : Изд. центр"Технология машиностроения", 2011. — №3. — с. 27-30.