681.5(075.8)
А22	Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники [Текст] : Учебное пособие для вузов по приборостроительных специальностях / Сазонов А.А., Корнилов Р.В., Кохан Н.П., и др.; Под ред. А.А.Сазонова. — М. : Высшая школа, 1991. — 334 с.
ISBN 5-06-000731-6