Розглянуто еволюцію технологічних процесів і описано фізичні принципи основних технологічних операцій виробництва сучасних надвеликих інтегрованих мікросхем. Розглянуто перспективи вдосконалення технологічних операцій і фундаментальні обмеження мікротехнології. На основі аналізу фізичних моделей технологічних перетворень мікротехнології отримано співвідношення для розрахунків рівнів технологічних факторів і параметрів створюваних структур і елементів, які використовують під час проектування технологічних процесів великих і надвеликих інтегрованих мікросхем. Рівень викладення відповідає сучасним досягненням мікроелектроніки. Висвітлення питань мікротехнології супроводжується прикладами розрахунків і комплектами задач для самостійної роботи.
Для студентів вищих навчальних закладів, які навчаються за напрямом "Електронні апарати". Може бути корисним для аспірантів і спеціалістів, що проектують і застосовують інтегровані мікросхеми.
